Сканирующий тунельный микроскоп, в котором поверхность образца исследуется по изменению тунельного тока между иглой и подложкой. В систему введена обратная связь и игла перемещается по вертикали, повторяя рельеф поверхности.

В волоконно-оптическом атомном силовом микроскопе (ВОАСМ) рельеф поверхности исследуется по притяжению консольно закреплённой сверхтонкой иглы. Изгиб консоли регистрируется оптически.

ВОАСМ, в котором благодаря наличию обратной связи оптическое волокно перемещается вместе с иглой. Этим достигается линейность преобразования и больший динамический диапазон.

ВОАСМ резонансного типа, в котором воздействие на иглу со стороны атомов определяется по смещению частоты её собственных колебаний. Колебания иглы регистрируются при помощи волоконно-оптического интерферометра Фабри-Перо.

Волоконно-оптический интерферометр Фабри-Перо - ещё один метод для исследования отражающих поверхностей. В систему введена обратная связь и кончик волокна перемещается в вертикальном направлении, повторяя рельеф поверхности образца.

-